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UVM-450Cが実現した表面粗さ15nm Raの世界

このモデルは東芝が長年蓄積した超精密加工機のコアテクノロジーとノウハウによって生み出されたものである。
超精密加工を実現するため、４つの要素に重点を置いて設計されている。
①高速・高回転精度を実現する空気静圧軸受主軸
②滑らかな軸移動とメンテナンスフリーを実現したリニアモーター駆動
③高精度位置決めと滑らかな送りにより10nmを実現
④長時間の高精度加工に対応する冷却システム

特に本機では冷却システムに重点的に対策が取られており、リニアモーターには冷却板、主軸モーターには冷却ジャケット、案内面には鋳ぐるみパイプによる対策で±0.1℃の熱変位に抑えられている。

さらにATC、自動工具長測定装置、CAMシステム補強ソフトウェアなどの多彩なオプションと超高速主軸100000min−1、ワーク回転・割り出し台、バイト旋回台など多彩なアプリケーションを用意して細かいニーズにも対応している。

主な仕様

移動量　X軸：450ｍｍ　Ｙ軸：450ｍｍ　Ｚ軸：200ｍｍ
テーブル　サイズ：450×450ｍｍ　　最大積載量：100kg
主軸　回転速度：6000～60000min-1　モーター：1.6kw
最高送り速度　X,Y：15ｍ/min　　Z：10ｍ/min
最小設定単位　X,Y,Z：0.01μm

東芝機械　超精密縦型加工機リンク
（７月８日更新）

切削液の自動供給にてISO14001を強力サポート

有限会社宮精密よりクーラント集中管理システムCASS（キャス）システムが発売されました。
本システムは切削水の自動管理により人件費を削減し、また切削水の腐敗速度を遅くさせることにより原液の消費量と産廃の発生量を減少させることが可能となります。
水溶性・油性に対応。特に油性での使用では油切れによる火災の危険性から開放されます。配管はソフト塩ビ管で結線可能。各機械タンク内にはボールタップを設置し、その後は常に満タンになるように水面調整されます。タンク内にボールタップが取り付け出来ない機種には外部サブタンクをオプションで設置可能。

今回発売されたのは２機種。CASS-200は水性原液２３０Lを貯蔵でき３０台までの機械に対応。一回り小型のCASS-40型は１０台までの機械を管理することが出来ます。

主な仕様は次の通り（カッコ内はCASS-40型）
主菅長　最大３００m　　　必要水圧　0.2～0.4Mpa以下
吐出量　毎分20～50L　　全楊程　50m
混合比　0～25%以下（0～35%以下）
原液量　230L（45L）

有限会社宮精密製品ページ
（６月２１日更新）

大型８インチサイズに対応

三菱重工業はLSI集積回路用基盤となるウェハの接合を自動化した全自動常温ウェハ接合装置の１号機を国内メーカー各社に納入した。ユーザーの製品開発・生産を支援する「接合サポートプログラム」を立ち上げ今後常温接合技術の適用範囲拡大を進める。
全自動常温ウェハ接合装置は６インチウェハとの互換性を持ち将来的な８インチ化にも対応できる。常温ウェハ接合装置は従来加熱して接合していたシリコンなどの原子を室温で接合できるため熱ストレスやひずみを排除している。また加熱と冷却にかかる時間も削減でき、高い生産性と高い歩留まりを実現して生産コストの大幅低減を実現している。

工程管理用に特化して設計

ワルタージャパンはCNC３軸制御の自動非接触式測定機「Helicheck Basic2」の販売を開始した。本機はツールプリセッタと高精度CNC工具測定機ヘリチェックプロとの中間に位置し、必要最小限の機能を搭載して現場での工程管理用測定機として設計されている。主な特徴はCNC３軸制御自動非接触式測定機、投影カメラ１台（基本５０倍オプション１００倍）を搭載、繰り返し精度<1.5μmの高精度などである。
主な仕様は軸移動距離Y軸455mm　Z軸325mm　A軸360°位置決め分解能0.050μm
工具データ工具径　直接測定φ220mm　工具最大径φ320mm R=160mm　工具長420mm　工具重量25kg